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Produkte / Durchfluss / Massendurchflussmesser/-regler, thermisches Prinzip
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BROOKS ® Serie 4850 - 4860
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Ansicht Datenblatt im PDF-Format
Ansicht Datenblatt im PDF-Format englische Version
BROOKS® 4800 Serie für die Durchflussessung und Durchflussregelung
von unterschiedlichen Gasen, großer Durchflußbereich.
Die Brooks Modelle der Serie 4800 eignen sich hervorragend zur Messung
und Regelung von unterschiedlichen Gasen wie z.B. Luft, N2,O2,Ar, He, H2,
CO2, CO, N2O, CH4, CH3H6 sowie C3H8. Die Geräte zeichnen sich durch
ein breites Messspektrum, schnelles Reaktionsverhalten und kompakte
Einbaugröße aus
Der Sensor der Serie 4800 basiert auf MEMS–Technologie und
garantiert blitzschnelle Reaktion.
Der verwendete thermische Sensor ist als Micro Electro Mechanical
System (MEMS) ausgeführt. Im Gegensatz zu herkömmlichen Sensoren
wird dieser Sensor aus einem Silizium -Wafer hergestellt.Vergleichbar mit
herkömmlichen thermischen Sensoren erfasst auch der MEMS – Sensor
die Temperaturdifferenz zur Bestimmung des Massedurchflusses. Da das
Gas direkt am Sensor vorbei strömt, werden kürzeste Reaktionszeiten erzielt.
Das schnelle Reaktionsverhalten des Modells 4850 ist gerätetypisch
und muss nicht erst aktiviert werden.
Dieser Massedurchflussregler verwendet einen PID- Algorithmus zur Optimierung
des Ventils. Auf diese Weise wird die schnelle Reaktion auf Änderungen des
Sollwertes sichergestellt.
 << Abbildung 1: Silikon – Wafer fr MEMS – Sensor
Leistungsfähige Geräte müssen nicht groß sein..
Der MEMS – Sensor ermöglicht eine drastische Reduzierung der Baugröße,
verglichen mitkonventionellen, thermischen Durchflussmessern.Tatsächlich
sind die Geräte der Serie 4800 signifikant kleiner was sowohl die Bauhöhe als
auch das benötigte Volumen angeht. Die Modelle Serie 4800 ist ideal
für OEMs. Das große Messspektrum, die schnelle Reaktionszeit und die
kompakte Bauform sind wie geschaffen für OEM – Anwendungen, wo es
aufmodulare Konstruktionen für schnellen Einbau ankommt, um kurze
Lieferzeiten zu gewährleisten
Massedurchflussregler 4850
Massedurchflussmesser 4860
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Technische Daten
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Leistungsmerkmale*
(*gelten bei Betrieb unter Kalibrierkonditionen)
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Messbereich
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50 mln/min ….40 ln/min (N2-quivalent bei 0C)
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Regelbereich
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2 – 100%
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Genauigkeit
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3,0% v.Ew.(Standard) 1,0% v.Ew. (Optional)
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Wiederholgenauigkeit
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0,15% v.Ew.
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Reaktionszeit-
Durchflusssignal
Durchflussregelung
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<0,3 s (Analog I/O)
<0,75 s (typisch <0,5 s)
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Temperaturkoeffizient
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0,1% v.Ew./C (N2)
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Gase
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Luft, N2,O2, Ar, He, H2, CO2, CO, N2O,CH4, CH3H6 (weitere Gase auf Anfrage)
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Mechanische Daten
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Betriebsgrenzen
Drücke
Temperaturgrenzen
Feuchtigkeit:
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0…10 barg (bei Raumtemp.)
0 -50C bei 10 barg
5 bis 95% rel.F.
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Differenzdrücke (Durchflussregler)
Minimal
Maximal
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0,35 bar
10 bar
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Leckrate
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Helium – Lecktest, von Innen nach Auen gemessen, 1 x 10-9 mbar ml/s
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Stromaufnahme
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Model
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15 VDC
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15 VDC
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24 VDC
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24 VDC
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Typisch
mA
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Max.
mA
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Typisch
mA
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Max.
mA
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4860
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30
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60
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30
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60
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4850
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130
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160
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150
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200
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Physikalische Daten
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Leistungsmerkmale
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Medienberührte Teile
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Edelstahl, FluorelastomereSensor auf Silikonbasis
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Abmessungen
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siehe Abbildung 3 PDF Datenblatt
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Prozessanschlüsse
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Im Gehäusegrundkörper 9/16“- UNF – Gewinde mit verschiedenen Adaptern (siehe Abbildung 3 PDF Datenblatt)
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Zertifikate:
EMV – Richtlinie 89/336/EEC gem EN 61326
Einbau in gefährdeter Umgebung
Die Geräte müssen in einem Schutzgehäuse mit einer Schutzklasse von
mindesten IP54 entsprechend den Vorgaben der EN 60529 eingebaut
werden. Hierbei sind die am Einsatzort vorherrschenden
Umgebungsbedingungen unbedingt zu berücksichtigen.Einflüsse von
Störspannungen sind zu verhindern.
Gehäuseschutzklasse: Typ 1 / IP40
Zulässige Umgebungstemperaturen: 0C Tamb 50C
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